半導体製造工程におけるC.V.Dプロセスで使用されるシラン系の排ガスを安全に、かつコンパクトな設備で処理することを目的としたスクラバー装置

【特徴】

• 燃焼法との組み合わせで安全、高性能
• 給水量が他方式と比べ1/10と少量で済む為、洗浄水の一過性が可能。
• 屋内設置で一次処理に最適。
• 規格ダクトで設備工事が簡単。

【特色】

●メンテナンスフリーです。

ベルトの寿命は半氷久的です。 水中軸受部や、亜錘プーリー、支持軸が不要であり、それらのトラブルがありません。

●耐熱、耐蝕性にすぐれている。

ステンレス鋼線を使用したベルトですから、温度や腐食に対してすぐれています。

●ベルトの長さ調節が自由である。

現場で簡単に長さが調節でき、継目トラブルはありません。

●網目構造が選択できる。

スカム性、SS分、オイルの種類などに最適な構造を選択できます。